项目名称：基于离散事件系统控制理论的半导体制造组合设备建模与调度优化

科技奖类别等级：江西省自然科学奖二等奖

项目负责人：潘春荣

项目介绍：半导体制造产业是我国重点发展的国家战略性新兴产业，本成果研究了自动化组合设备单晶圆片加工过程中大直径、小线宽、无缓冲等调度和优化控制问题，采用赋时Petri网建模技术和系统仿真，对晶圆加工过程的初始和终止暂态加工、系统出现的加工模块故障时响应策略等方面，找到组合设备调度的可行解和优化解，解决晶圆加工过程的建模、调度和优化控制问题。